所谓SENI标准是指半导体制造装置、平面显示屏装置以及材料厂商构成的行业团体的行业规范。在半导体行业实际等于国际标准的效力。如SENI标准（S2 0706）12.1记述：“装置中应设置（紧急遮断路器）EMO执行元件动作时，为了避免对工作人员以及设备产生新的危险应将装置移至安全状态。”这是因为在某作业现场使用多种溶剂以及药剂等时，其中含有危险物质或有害物质时，若停止了处理用动力等可能引起二次危险。

为此SENI标准规定，为遮断包括动力的能源供给，除设置通常的紧急停止开关以外，必须设置能够维持其他相关装置（烟探知器、泄露气体/水探知器、压力测定装置等）运转的紧急遮断开关。

为防止误操作紧急遮断开关，需设置开关保护罩，要求开关具备直接开路动作，操作按钮为红色，且背景颜色为黄色，操作部表面必须标准EMO

SENI S2对应紧急遮断用（EMO）开关安装高度 ：

紧急遮断用EMO开关安装到半导体制造装置上时，请将其安装在838mm~1638mm的高度范围之内

SENI规定EMO开关必须安装在距离操作人员3m以内。